第182章 追光破光刻机难题 重回1990:我的科技强国路
非洲大陆的星空下,陈醒掛断与林薇的电话,眼中的凝重几乎要满溢出来。
信息高速公路的宏伟蓝图刚刚在签约仪式上贏得满堂彩,基石却已在万里之外的华夏芯谷发出了不堪重负的呻吟。
他没有丝毫犹豫,改签了最近的航班,將非洲的后续事宜全权交给苏黛,星夜兼程,直飞合城。
当他踏入华夏芯谷那座庞大的、无尘等级要求极高的主厂房时,一股压抑的气氛扑面而来。
生產线的轰鸣声依旧,但监控屏幕上那条代表28nm製程良率的曲线,却刺眼地徘徊在58%的低谷,像一个高烧不退的病人。
林薇、金秉洙博士、梁志远等人正围在一片晶圆旁,每个人的脸上都写满了疲惫与焦虑。
“陈总。”
林薇迎了上来,声音沙哑,她显然已经在这里连续奋战了多个日夜,
“情况比匯报的更复杂。不仅仅是单一型號的光刻胶断供。阿斯莫公司以及其背后的联盟,这次是系统性、精准地卡住了我们的脖子。不仅暂停了供应28nm製程所需的高纯度arf光刻胶,连用於晶片量测的特定波长雷射源模块、以及高端计算光刻软体的授权更新也一併被限制了。”
金秉洙,这位拥有丰富大尺寸晶圆製造经验的韩国专家,指著电子显微镜下的一张晶圆图,语气沉重:
“陈总,您看。由於光刻胶的纯度不足和配方不適配,在曝光环节,图形边缘出现了严重的粗糙化和隨机缺陷。这直接导致电晶体的关键尺寸失控,漏电率飆升,良率自然一落千丈。我们尝试调整曝光参数,但效果微乎其微。”
梁志远补充道,他的团队负责工艺整合:
“更棘手的是,我们自研的光刻胶与阿斯莫光刻机的接口参数需要精细匹配。现在缺少原厂的技术支持,就像拿著错误的钥匙去开锁,强行调试甚至可能导致光刻机內部精密光学元件的污染或损伤,风险极高。”
陈醒沉默地听著,目光扫过眼前这群中国半导体工业的脊樑,他们眼中的血丝和紧锁的眉头,诉说著这场“追光”之战的艰难。
他走到控制台前,手指轻轻拂过冰冷的金属外壳,仿佛能感受到其內部那颗被“卡住”的“心臟”。
“我们曾经攻克了12英寸晶圆的量產,实现了从无到有的跨越。现在面对的,是从『有』到『精』的壁垒。”
陈醒的声音在寂静的车间里迴荡,不高,却带著一种定鼎人心的力量,
“以前,我们是在別人的规则下追赶;今天,他们用断供告诉我们,规则可以被隨时修改。那我们的回答只能是:打破规则,建立属於我们自己的標准!”
他猛地转身,眼神锐利如刀:
“从现在起,启动『追光计划』最高应急响应,代號『破晓』!成立三个攻坚小组,我亲自协调资源。”
“第一组,光刻胶攻坚『火炬小组』,林薇任组长。 不要局限於替代,要瞄准超越!立刻与华科院化学研究所、国內最大的化工集团成立联合实验室。他们负责基础树脂、光酸剂等核心材料的合成纯化,我们负责晶片级別的配方调试与验证。我授权你们,调用『长城计划』首批百亿资金中的百分之三十,不惜代价,在全球范围內搜罗顶尖的光刻胶研发人才和关键原材料!”
“第二组,设备与工艺攻坚『钥匙小组』,金秉洙博士任组长。 任务有两个:一是逆向工程,吃透阿斯莫光刻机的接口协议,確保自研光刻胶上去能『点亮』,能运行。二是工艺创新,联合哈森院士、章宸博士的架构团队,探索在现有受限设备条件下,通过计算光刻、多重图形技术等软体和工艺手段,弥补硬体精度的不足。我会让赵静的ai团队全力配合,用ai模型来加速光刻工艺的仿真和优化!”
“第三组,供应链备份与国產化『根须小组』,梁志远任组长。 你的任务是『挖地三尺』,梳理国內所有可能替代的零部件、材料、软体供应商,哪怕性能只有对方的百分之八十,也要扶植起来,建立一条哪怕粗糙但完全自主的『b计划』供应链。同时,启动与欧罗巴、霓虹二线供应商的秘密接触,利用东门子等合作伙伴的渠道,寻找一切可能的技术突破口和替代品。”
命令一下,整个未来科技和华夏芯谷如同一个上紧了发条的精密仪器,以前所未有的速度运转起来。
深城,华科院联合实验室內,灯火通明。
年过花甲但仍奋战在一线的许教授,看著林薇带来的晶圆缺陷图,眉头紧锁:
“arf光刻胶的难点在於分子结构的精確控制和纳米级別的均匀度。国外巨头积累了数十年,专利壁垒森严。我们之前的研究更多是跟踪仿製,现在要短时间內实现超越,难度极大。”
“许老,我们没有时间按部就班了。”
林薇语气坚定,
“我们必须走一条不一样的路。他们追求极致的解析度,我们是否可以优先追求卓越的缺陷控制率和工艺窗口?哪怕牺牲一点点理论上的解析度,只要能让產线先以可接受的良率跑起来,就是胜利!”
这一思路打开了新的方向。联合团队放弃了完全復刻国外配方的想法,转而针对国產光刻机的特性和28nm工艺的痛点,进行全新的分子设计。
无数个日夜,实验室里充满了化学试剂的气味和激烈的討论声。
一次次的合成,一次次的失败,测试晶圆上的缺陷仿佛一道道嘲笑的疤痕。
与此同时,在华夏芯谷的洁净室內,“钥匙小组”的挑战同样艰巨。
没有原厂支持,调试光刻机如同盲人摸象。一次激进的参数尝试,甚至导致一整个批次的晶圆彻底报废,损失高达数百万。
金秉洙博士顶著压力,组织团队彻夜分析数据。
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