第96章 乾式DUV光刻机正式立项 震惊山寨厂拿出了三纳米晶片
然后实现半导体的全面赶超。”
会议室里再次安静了下来。
65nm乾式光刻机相比於现在国內的製程,是有了很大的突破。单次曝光最高可以达到65nm,通过多次曝光,甚至可以一下子將国產製程直接拉到40nm……
距离国际最先进工艺也只1~2代的差距。
但想要更进一步,那就需要浸没式duv光刻机,虽然依旧叫duv,但两者的技术含量,差距巨大。
到时候的投资肯定是一笔天文数字,但所有人都默默的点了点头。
“我答应了!而且不能让他们吃亏。”张新保证道。
既然沈飞格局这么大,那他们也不能光享受福利。
听说他有个准岳父,那就让上面给张世清加加速吧,反正资歷也是够的。
“哦,对了。小沈还有一个想法,等光刻机项目成功以后,要加大全產业链的投资力度。
不是光刻机製造,而是晶片製造,从沙子到晶片全流程自主。
他说光刻机只是最大的问题,但其他问题也不能忽视,否则別人可以轻鬆卡脖子。”
张新再次点了点头,这都是必须的。正因如此,才有了国家半导体投资基金。
本来他们只是想从其他產业先扶持,没想直接从光刻机下手……但奈何有了传音这个意外,所以才选择了从最难的下手
“他疯了。”华芯国际的代表皱著眉头,“他知道晶片製造需要设计多少流程,想玩晶片製造?知不知道这水多深?”
本来听到传音要优先採购光刻机,华芯国际的代表就有点忍不住了,明明他们才是专业的代工厂,首批机器竟然不交给他们。
这下听到沈飞的布局后,他彻底明白了。
他们想搞全產业链,可笑!侥倖获得了一些落后光刻机的製造图纸,真以为自己上天了!
这时吴教授的脸色瞬间变脸,怒气冲冲的指著他:“这是哪家代表?”
“华芯国际的。”张新连忙解释。
“哦!你们公司的目的是好的,但搞了这么久,一点东西都没搞出来,还没人家小沈做出来贡献多。
有时间在这里看不起別人,不如多去搞点研发。”
张新也是很生气,这么重要的场合,华芯国际那边也不派个识趣的人。
他连忙招了招手,示意旁边的人把他给“请”出去。
等他走后,张新再次开口说道:“吴老,您觉得……传音的技术资料真有那么神吗?”
吴院士没有接话,从公文包里拿出一份文件。
《65nm乾式光刻机技术方案(概要)》
只有10页。但每一页都让在座的专家直呼牛逼。
“双工台设计……同步量测与曝光……超高精度温控。怎么还有极紫外光源预研……”中科院的专家手在发抖,“这上面有些技术路线,阿斯麦尔还在摸索,传音怎么可能有这么完整的方案?”
“沈飞说,这是他们的海外投资团队,花了半年的时间,通过各种渠道购买、投资、收购,或者一些不太常规的手段搞出来。”吴院士转述。
“技术路线可能有点杂,也可能不太完整,但框架是对的。”
“半年……从经济危机开始……”有人喃喃的说道。“虽然经济危机导致大部分技术变得廉价,但想要搞到这些资料……估计也得一大笔钱。
沈总,这人格局真大。”
“所以我说,沈飞这个人格局不是一般的小。”吴院士合上了这些文件。
“但不管技术是哪里来的,花了多少钱,现在它在我们手上。
我们不能让他们失望,80亿,造出华国自己的65nm光刻机,这件事干不干?”