梁志远正在工艺监控室里审核下个月的產能计划。屏幕上，代表各机台状態的图標整齐排列：绿色是正常运行，黄色是计划维护，红色是异常停机。过去一周，这条斥资数十亿打造的產线运行平稳，量產良率缓慢但坚定地爬升到了71.2%，距离75%的成本线又近了一步。

窗外，洁净室的走廊里，身著无尘服的技术人员安静地穿行。巨大的黄色机械臂平稳地將晶圆盒从一台设备传送到另一台设备，整个流程如精密钟錶般有序。墙壁上的环境监控屏显示著各项指標：温度22.3c±0.1c，湿度42%±1%，静电电压＜10伏，粒子计数0.1微米以上每立方米小於1个，这是半导体製造的最高洁净標准。

一切都那么完美，完美得让梁志远心里隱隱不安。在晶片製造行业待了二十年，他深知这种平静往往是暴风雨的前兆。特別是三天前林薇从宝岛发回的那份关於电磁环境扰动的简报，让他要求工程师们对所有敏感设备进行了额外屏蔽检查。

但检查结果显示一切正常。

“梁工，euv曝光区三號机台的预防性维护完成。”对讲机里传来设备工程师的声音，“校准数据全部通过，可以恢復生產。”

“批准恢復。”梁志远回应，“先跑两个批次的监控片，確认工艺窗口稳定。”

“明白。”

梁志远的目光落在监控屏的一角，那里是“追光二期”euv光源的长稳测试数据曲线。经过九天运行，稳定度保持在97.8%到98.2%之间波动，完全满足14nm工艺需求。金秉洙团队的那个“带电作业”方案，虽然听起来惊险，但实际效果出奇地好。

也许是自己多虑了。梁志远端起桌上的保温杯，喝了一口浓茶。茶叶是林薇上次从宝岛带回来的高山乌龙，香气清冽。

就在茶水滑过喉咙的瞬间，监控室里的主照明灯突然闪烁了一下。

很轻微的一闪，持续时间不到0.1秒，如果不是梁志远正对著光源，几乎不会察觉。但就是这一闪，让他的心猛地一沉。

“电力监控，报告情况！”他立即抓起对讲机。

“配电系统正常，各迴路电压波动在±1%以內，符合標准。”电力工程师的回答很快传来，“可能是照明电路的老化接触问题，已记录，会后检查。”

梁志远没有放鬆警惕。他调出全厂区的电力质量监测数据流，一屏屏地扫过。三相电压平衡度、谐波含量、频率稳定性……所有指標都在绿色范围內。

但就在他准备关掉监控页面时，一个不起眼的参数引起了他的注意，零线电流。

在理想的三相平衡系统中，零线电流应该接近於零。但此刻，监控显示零线电流达到了相线电流的8%，並且以每秒约0.2%的速度缓慢上升。

“电力组，立即检查全厂接地系统！”梁志远的命令还没说完，第二件事发生了。

监控屏幕上，代表14nm量產线关键区域的粒子计数器，突然从绿色跳成了黄色，然后迅速转红。

“警报！光刻区粒子计数超標！0.1微米以上颗粒物浓度达到每立方米50个！已超过工艺標准500倍！”

几乎在同一时间，多个区域的报警蜂鸣器同时响起：

“离子注入区三號机台真空度异常下降！”

“化学机械拋光区研磨液流量波动！”

“薄膜沉积区温控系统振盪！”

梁志远从椅子上弹起来，衝到总控台前。屏幕上，几十个报警图標像被点燃的鞭炮一样接连炸开。但最让他心惊的，是euv曝光区的监控画面，

在高速摄像机的捕捉下，可以看到三號euv光刻机的投影镜头下方，几片肉眼几乎看不见的微尘，正违反物理规律般悬浮在空中，然后缓缓飘向镜头表面！

静电。这是静电吸附现象。

“全厂静电监测！”梁志远吼道。

监控画面切换到静电电压分布图。在正常的半导体工厂，由於严格的防静电措施，任何区域的静电电压都应该控制在100伏以下。但此刻，分布图上出现了三个醒目的红色热点，

一个是euv曝光区，静电电压达到3200伏；

一个是晶圆传送走廊，静电电压2800伏；

最严重的是设备维护区，静电电压突破了5000伏，而且还在持续上升！

“启动紧急静电泄放程序！”梁志远的声音在广播系统中响起，“所有人员立即停止作业，接触接地桩！设备组，立即切断非必要电源，防止静电放电损坏！”

但他的命令还是晚了一步。

在euv曝光区，悬浮的微尘中，有一片直径约0.3微米的二氧化硅颗粒，在强静电场的驱动下，最终吸附在了投影镜头最关键的中心区域。

就在此刻，euv光源的一次曝光脉衝抵达。

13.5nm的极紫外光，以极高的能量密度照射在镜头表面。那片二氧化硅颗粒瞬间被加热到数千摄氏度，汽化、电离，在镜头表面留下了一个微小的、但足以毁掉整个镜组的灼伤点。

“euv三號机台曝光剂量异常！”操作员的声音带著惊恐，“镜头传输率下降12%！自动保护停机！”

一台价值近亿美元的光刻机，就这样在几秒钟內被损坏了关键光学部件。

但这还不是最糟的。

在晶圆传送走廊，强静电场导致一台晶圆搬运机器人的伺服电机驱动器发生內部放电。虽然驱动器有防静电设计，但5000伏的电压超出了设计极限。

驱动器短路，机器人失控。

机械臂以最大加速度挥出，撞击在传送轨道上。正在传送的十二片已完成前道工序、价值数百万美元的14nm晶圆，连带著特製的晶圆盒，从三米高的空中坠落。

晶圆盒在撞击地面的瞬间裂开，十二片晶圆像被推倒的多米诺骨牌一样滑出，在洁净室地板上碎裂、刮擦、污染。

“不！”监控室里有人发出一声痛苦的呻吟。

梁志远强迫自己冷静。损失已经发生，现在要做的是止损。

“设备组，立即在所有静电热点区域安装临时接地线！环境组，启动紧急空气净化，粒子浓度必须在十分钟內恢復正常！生產计划组，重新编排后续批次，评估延误影响！”

命令一条条下达。训练有素的团队开始行动。临时接地线像蛛网一样在厂房內铺设，大功率的空气净化系统全速运转，工程师们穿著无尘服衝进事故区域，开始抢救还能挽救的设备。

但梁志远知道，真正的损失已经无法挽回。那台euv光刻机的镜头损伤，至少需要三个月的时间来修復或更换。十二片14nm晶圆的报废，直接经济损失超过两千万。更重要的是，量產进度將因此延误至少一个月，而“深红路线图”的时间表不会等待。

他拿起加密电话，拨通了陈醒的號码。电话只响了一声就被接通。

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